thermische chemische Abscheidung aus der Gasphase
- thermische chemische Abscheidung aus der Gasphase
- termocheminis garinis nusodinimas
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. thermal chemical vapor deposition
vok. thermische chemische Abscheidung aus der Gasphase, f
rus. термохимическое осаждение из паровой фазы, n
pranc. déposition thermochimique en phase vapeur, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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